Capteur de gaz

Il existe de nombreux types de capteurs de gaz. En raison de la différence de structure de travail entre le gaz et le matériau, les réactions physiques, chimiques et biologiques sont également différentes. Par conséquent, les méthodes de classification sont différentes, par types de gaz: composant de détection composant de détection d'ammonium et composant de détection d'alcool; par matériau de base: oxyde métallique, semi-conducteur en polymère organique, électrolyte solide; par méthode de travail: type sec et type humide; par structure: fritté, film mince et film épais; par mécanisme de travail: type de résistance, type capacitif et type électrochimique.

WO3 est un type de matériau semi-conducteur en oxyde de métal à structure N, lorsqu’il entre en contact avec le gaz d’essai, la résistance change, ce qui entraîne une modification du signal de sortie afin de tester les gaz. WO3 a un bon sens pour H2S Sox et NOx, il a donc un grand potentiel. La technologie de dépôt pour le film mince WO3 et les paramètres de dépôt associés ont une grande influence sur la sensibilité du capteur de gaz à film mince. En raison du procédé et de l'état de production différents, la densité défectueuse dans un matériau en film mince serait différente. De même, lors du traitement thermique du matériau, la taille du grain change également, elle a une grande influence sur les propriétés électriques et le temps de réaction du gaz pour WO3.