Capteur De Gaz WO3 Silicium Poreux Macro

Le silicium macroporeux peut être fabriqué avec un matériau de substrat à structure P dopé avec une surface simple polie, une orientation des cristaux <111>, une résistance spécifique de 8-13Ωcm, configuré avec 40% de HF et d’alcool éthylique absolu en proportion 1: 1 après Corrosion électrochimique de 30 minutes dans la double gorge. Lorsque la densité de l’électricité corrosive est comprise entre 20、30 et 40mA / cm2, la porosité du silicium macroporeux est de 50,0% à 63,9,7% et de 66,7%, ce qui augmente avec la densité de l’électricité. La surface de silicium macroporeux apparaît comme une structure macroporeuse évidente. La dispersion des macropores est uniforme, la dimension est de 1 ～ 2 µm, la paroi des pores est épaisse. WO3 pulvérisé sur la surface du silicium macroporeux sous corrosion corrosive densité de l'électricité 40mA / cm2 ne couvre pas le pore, il est plutôt rempli dans la paroi latérale du pore et devient un film mince continu.

L’épaisseur du silicium macroporeux s’agrandit avec l’augmentation de la densité de la corrosion électrique. Le silicium poreux a une certaine sensibilité vis-à-vis du NH3 et du NO2 à température ambiante. Le film mince en oxyde de tungstène de silicium macroporeux a une sensibilité similaire vis-à-vis du NO2 de la fraction volumique 200 × 10-9 et du NH3 de la fraction volumique 20 × 10-6 sous une température élevée ou basse.