Recherche et développement de couches minces d'oxyde de tungstène

Le film mince d'oxyde de tungstène est un matériau de film mince fonctionnel important, il a de nombreuses perspectives d'application dans le commerce, la vie quotidienne et la défense nationale.

De nombreux scientifiques ont effectué quelques recherches sur l’étude du film mince en oxyde de tungstène, dont la méthode de production comprend: la méthode d’évaporation, la méthode de pulvérisation cathodique, la méthode sol-gel, la méthode d’évaporation des électrons, la méthode de dépôt par évaporation chimique, le procédé d’oxydation anodique, Méthode de pyrolyse par pulvérisation, méthode d'épitaxie par jet moléculaire, méthode de dépôt d'électrons, méthode de dépôt d'ions, etc. La plupart des méthodes sont compliquées et difficiles à traiter. Mais les méthodes de pulvérisation et d’évaporation sont stables, pratiques, rapides et le film mince est uniforme. La méthode sol-gel est facile à produire, le coût de revient est faible, synthétisé à basse température, il présente une uniformité chimique élevée (matériau dopé réparti uniformément en film mince), la forme du matériau est variée. Ainsi, la méthode d’évaporation, la méthode de pulvérisation magnétron et la méthode sol-gel sont les méthodes les plus utilisées.

L’étude sur les couches minces d’oxyde de tungstène est principalement axée sur ses propriétés électrochromiques. Il n’existe que peu de recherches sur ses propriétés gaschromique et photochromique. Bien que le film mince d'oxyde de tungstène ait été utilisé dans le passé comme capteur de gaz, il utilise le changement de résistance pour tester la concentration en gaz qui appartient au capteur semi-conducteur. Il a besoin de la tension supplémentaire pour chauffer et peut être perturbé par une onde électromagnétique, la structure est compliquée, de sorte que l’application d’un tel capteur de gaz est assez limitée.

Lorsque le matériau en film mince d'oxyde de tungstène entre en contact avec de l'hydrogène, il se décolore à la température ambiante, il est évident que la propriété optique du film mince change. L'hydrogène est une sorte de gaz inflammable et combustible. Habituellement, en testant le paramètre optique du film mince en oxyde de tungstène, nous pouvons obtenir la concentration en hydrogène qui éviterait les conditions magnétiques et autres perturbant le chauffage et le gonflage, ce qui améliorera la sécurité du capteur de gaz à hydrogène.