Couche mince dopée à l'oxyde de tungstène

Les propriétés des matériaux en couches minces composées d’une seule substance ne répondent généralement pas aux exigences actuelles. Un film mince en oxyde de tungstène dopé avec différents éléments améliorera certaines de ses caractéristiques, notamment la mécanique, l’électricité, l’optique, la chimie et la également être différent par la quantité de dopage et de matériel de dopage différent. En substance, le dopage entraînera des modifications du niveau et de la bande d’énergie des impuretés, ainsi que de la concentration en porteurs de cristal, ce qui entraînera une modification de la structure cristalline.

Un film mince en oxyde de tungstène avec élément dopé améliorera considérablement certaines de ses propriétés. Par exemple, après dopage avec une certaine quantité de Pt et de Pd, le film mince sensible à l'hydrogène améliorera et réduira le temps de réaction. Un film mince d'oxyde de tungstène dopé au Li améliorera ses propriétés électrochromiques, notamment la vitesse de coloration et de décoloration. Un film mince d'oxyde de tungstène dopé à l'acide augmentera la sensibilité au SO2. Un film mince d'oxyde de tungstène dopé au TiO2 réduira ses défauts. Un film mince d'oxyde de tungstène dopé Ni et Co abaissera sa tension de polarisation, ce qui augmentera la stabilité.