가스 센서

가스 센서에는 많은 종류가 있는데, 가스와 물질 사이의 상호 작용이 다양하기 때문에 물리적, 화학적, 생물학적 효과 또는 현상이 다르기 때문에 많은 분류 방법이 있습니다. 기체 형태 (금속 산화물 형, 유기 고분자 반도체 형, 고체 전해질 형 등)에 따라 분류 된 기체의 종류 (산소에 민감한 장치, 와인에 민감한 장치, 암모니아에 민감한 장치 등)에 따라 작업 모드 (저항, 용량 성, 다이오드, 트랜지스터, 주파수)에 따라 분류 된 구조 (소결, 박막, 후막 등)에 따라 분류 된, , 전기 화학적 유형 등).

WO3는 피 측정 가스와 접촉했을 때 저항이 변화하는 N 형 금속 산화물 반도체 재료이므로 가스 검출의 목적을 달성하기 위해 출력 신호가 그에 따라 변화된다. WO3는 H2S, SOx 및 NOx와 같은 가스에 대해 우수한 감도 및 선택성을 가지며, 따라서 양호한 발달 전망을 갖는다. WO 3 필름의 증착 기술 및 해당 증착 파라미터는 필름 가스 센서의 가스 감지 특성에 큰 영향을 미칩니다. 막 형성 기술과 막 형성 조건이 다르기 때문에 막 재료의 결함 밀도도 달라지며 열처리 중에 입자 크기도 변하게됩니다. 이들은 삼산화 텅스텐에 대한 전기적 특성과 가스 감응성이 매우 우수합니다. 큰 영향.