산화 텅스텐 막 진공 증착
진공 증착법으로 WO3 막을 제조하는 원리는 고순도 불활성 분위기 (Ar, He) 하에서 증착 물질을 진공 가열 및 증발시켜 표면 가스화로부터 원자 또는 분자가 빠져 나가 기판의 표면에 입사하고 증기가 불활성 인 것이다. 기체 상태의 매질에서의 응축은 미립자 막을 형성한다. 진공 챔버 (-1.33 × 10-3Pa)에서 WO3 분말을 가열하고 증기를 기판 상에 응축시켜 WO3 필름을 얻는다. 막의 두께 및 막 형성 속도는 막 두께 모니터에 의해 모니터 될 수있다. 진공 증발은 다음을 포함합니다 : 아크 증착, 전자빔 증착, 레이저 빔 증착 등이있다.
진공 열처리 방법으로 WO3 필름을 준비하고 아크 가열, 전자선 가열, 레이저 빔 가열 등의 초기 노 가열 원에서 가열 원을 개발하여 전자빔 증착으로 제조 한 WO3 필름을 잘 발달시켰다.진공 증착법으로 제조 된 필름은 고순도이며 입자 분 산성이 좋으며 대기압과 온도를 변경하여 제어함으로써 입자 크기가 다른 나노 필름을 얻을 수있어 저 융점 및 단일 물질의 필름 또는 입자 합성에 적합합니다. 그러나,이 방법은 값이 비싸고 대 면적 필름을 제조하기에 적합하지 않다.
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Tungsten oxide (W2O3) is a compound of tungsten and oxygen (See Uncle Tungsten by Oliver Sacks).
Tungsten Trioxide, also known as tungsten oxide or tungstic anhydride, WO3, is a chemical compound containing oxygen and the transition metal tungsten.
Tungsten carbide powder is the main raw material for the production of tungsten carbide, chemical formula WC.
Tungsten belongs to the rare element in the earth's crust containing only 0.007% of China's tungsten reserves of about 55% of the world's total reserves in the first place.