산화 텅스텐 박막의 연구 개발 현황 및 전망

중요한 기능성 필름 소재로서, 삼산화 텅스텐 필름은 실제, 생활 및 국방 분야에서 광범위한 응용 가능성을 가지고 있습니다.

지금까지 많은 과학자들이 삼 산화 텅스텐 박막에 대한 연구를 수행했으며, 삼산화 텅스텐 박막의 제조 방법은 증착, 스퍼터링, 졸 - 겔법, 전자빔 증착 및 화학 기상 증착법을 포함합니다. , 양극 산화 방법, 기술적으로 가장 복잡한 분무 열분해 법, 분자선 에피 택시, 원자 층 성장 법, 전착, 펄스 엑시머 레이저 증착법, 이온 도금법, 본 방법은 공정 조건을 요구하는 애플리케이션은 제한된 . 스퍼터링 방법 및 증발 방법은 안정성, 편리 성, 신속성, 균일 한 막 등의 이점을 갖는다. 졸 - 겔 방법은 공정이 간단하고, 저비용, 저온 합성 및 화학적으로 매우 균일하다. (막 중의 도펀트의 균일 한 분포를 포함 함), 재료 형상의 다양성 등을 고려하여, 증착법, 마그네트론 스퍼터링 법, 졸 겔법이 현재 사용되고있다.

삼산화 텅스텐 막에 대한 최근 연구는 대부분 그 전기 특성에 집중하고, 과거에 삼산화 텅스텐 필름은 또한 가스 센서로서 사용하고 있지만, 가스 의하면하지만 주로하여, 광 변색 특성 덜 유도 가스 농도의 측정 저항의 변화를 결정하기 위해, 반도체 센서로, 전압이인가되는 추가의 가열 및 전자기 간섭에 대한 필요성이 크고, 구성이 복잡하고, 가스 센서의 유형에 따라서 애플리케이션은 큰 한계를 갖는다.

수소가 삼산화 텅스텐 필름 소재와 접촉하면 필름의 광학 특성 중 일부가 변하기 때문에 외관 온도에 따라 색상이 변합니다. 수소는 가연성 및 폭발성 가스이며, 수소 농도는 상온 및 상압에서 삼 산화 텅스텐 막의 광학적 파라미터를 측정함으로써 결정되며, 가열, 압력 및 기타 외부 조건 및 전자기 간섭의 필요성을 피할 수 있습니다. 수소 센서의 안전성과 선택성.

광섬유 센서는 우수한 내식성, 강력한 전자기 간섭 기능, 높은 감도 및 장거리 측정의 장점을 가지고 있습니다. 따라서, 삼산화 텅스텐 막을 이용한 광섬유 수소 센서 및 광 변색 성 장치의 제조는 큰 학문적 중요성과 광범위한 응용 가능성을 가지고있다.