산화 텅스텐 막 졸 겔
졸 - 겔 방법은 금속 유기 / 무기 물질을 용액, 졸 - 겔에 의해 고체화 한 다음 열처리하여 산화물 또는 화합물 고체를 형성시키는 방법이다. 졸겔 간단한 프로세스를 갖는 박막 재료, 저가, 저온 합성 화학 높은 균일도의 제조 다양성의 재료 특성의 형상 (도펀트를 포함하여 필름에 양호한 균질 한 분포를 가짐).
졸 겔법에 의해 제조필름은 일반적으로 다음 단계로 분할된다 : 전구체 염의 제조는 솔, 성형, 건조, 열처리를 형성한다. 텅스텐 분말 polytungstate 과산화수소 법, 텅 스테이트 이온 교환법, 알콕사이드 용액, 텅스텐, 텅스텐 클로라이드 알콜 방법 : - 솔 젤 삼산화 텅스텐 필름은 일반적으로 다음으로 분할된다.
텅스텐 분말 과산화 폴리 텅스텐 산법
퍼 옥사이드 화 졸 - 겔법은 산화 텅스텐 막의 제조 방법 중 하나이다. 텅스텐 분말을 여과, 퍼 옥시 텅스텐 산로서 생성물을 수득하기 위해 반응이 완결 될 때까지 과산화수소 텅스텐 분말을 혼합하고, 반응은 에탄올 저비점 발생 W의 퍼 옥시 에스테르 유도체를 생성 한 다음 회전 : 절차는 다음과 코팅 또는 필름에 담그기. 방법의 특성이 처리는, 코팅에 적합한 간단하고 안정한 졸이 형성된다, 즉, 단점은 중간 제품, 포토 크로 믹 특성이 석출 갖지 않는 것도 전기 비 졸을 제조한다 불충분 제어이다.텅스텐의 알킬 염 가수 분해 방법
다음절차는 : 텅스텐 알콕시 드 (예를 들면, W (OC2H5)의 6)의 작은 분자량 알콜 (예를 들면, T 알콜) 시간에 대한 반응, 보호 가스로서 일반적으로 질소, 초음파 진동의 혼합, 수득 WO3를했다 솔, 디 핑법 또는 스핀 코팅의 증착 방법은, 시료는 그 다음 삼산화 텅스텐 막을 얻기 위해 어닐링 처리를 가수 분해 및 축합 반응을 수행하는 시간의 기간 동안 공기 중에서 열처리하기 전에 배치된다. 상기 방법은 제조 된 필름이 고순도이지만, 제조 공정이 비교적 복잡하고 조건이 높다는 특징이있다.
텅스텐의 이온 교환 방법
투명한 황색 용액을 수득 잠시 서 후 방출 된 텅스텐 산 나트륨, 이온 교환 컬럼 양이온 교환 주입 교환 산 처리 된 이온 교환 컬럼에 수지 다음으로,이 용액을 여러 상당히 불안정 1 시간 이내에 겔을 중합하고 수화 된 텅스텐 산을 침전시킨 다음 스핀 코팅 법 및 침지 법에 의해 필름으로 형성 하였다. 알콜, 아세톤 등과 같은 유기 용제를 적당량 첨가하여 졸을 적절히 안정화시킵니다. 또한, 적당한 양의 과산화수소를 첨가하면 겔의 형성을 지연시킬 수있다. 이 방법의 장점은, 제조 공정의 모든 실온에서 얻어지는 및 분해 생성물을 생성하지 않았고,이 방법은 스트레스 후막없이 제조 될 수 있다는 것이다 졸 단점은 불안정하고 빠르게 겔 형성, 코팅은 제어하기가 어렵다 얻어진 필름의 접착 성이 낮은 결과 시간 막, 불투명하거나 쉽게 균열, 일부 용매를 완전히 막 특성에 금속 이온의 교환에 영향을주지되어 부가 막 도포 액의 성능을 개선하기 위해 테이블을 추가 할 필요가 될 수있다 크다.
염화 텅스텐의 알코올 분해
N2 보호 하에서 WCl6 충분히 알코올과 반응시켜, 반응 중에 생성 된 염화수소 천천히 텅스텐 알콕사이드 용액을 얻기 위해, 질소 가스에 의해 빼앗긴 후 알코올의 양 (용매로서 행동)과 교차하는 양을 추가 캐스팅 용액 침 지법 또는 증착 회전 방법의 적합한 점도를 형성하고, 마지막으로 삼산화 텅스텐 막을 얻기 위해 열처리를하기 위해 그들이 충분히 혼합되도록 질소하에 가교제. 이 방법은 온화한 공정 조건, 넓은 적용 범위, 간단한 준비 공정 및 전처리 제로서의 알콕시 드에 비해 저렴한 비용을 갖는다.