Vonfram oxit màng mỏng

Vật liệu màng mỏng có tính chất quang, tính chất điện, tính chất từ, tính chất hóa học, tính chất cơ học, tính chất nhiệt, nó được ứng dụng rộng rãi trong nhiều lĩnh vực, như sử dụng như màng mỏng điện, màng mỏng quang, màng cứng, chống ăn mòn màng, màng bôi trơn, màng trang trí và màng đóng gói. Trong đó màng mỏng oxit vonfram có nhiều tính chất như điện hóa, quang điện, khí hóa. Vonfram mỏng màng được áp dụng như cửa sổ thông minh, cảm biến khí và máy đo PH. Vật liệu màng mỏng oxit vonfram đã được nghiên cứu từ những năm 1960, đặc biệt là nghiên cứu về điện hóa, quang điện, khí hóa và đã đạt được thành công lớn.

Ngày nay, ngày càng có nhiều nhà khoa học tập trung vào nghiên cứu độ nhạy khí của màng mỏng oxit vonfram. Nó có tiềm năng ứng dụng lớn trong độ nhạy hydro. Khi màng mỏng oxit vonfram pha tạp tiếp xúc với hydro, nó chuyển từ không màu sang màu xanh. Các nhà khoa học vẫn đang thực hiện nghiên cứu về những thay đổi này. Ngoài ra màng mỏng oxit vonfram có tiềm năng sử dụng làm vật liệu cảm biến khí, không chỉ cho hydro, mà còn cho các loại khí nhạy cảm khác như NH4 、 NO2 、 H2S O3 O2 sau khi pha tạp với Au, Pt, Pb, Ag, Mo3 và như vậy vào.

Phương pháp sản xuất màng mỏng oxit vonfram bao gồm: phương pháp bay hơi, phương pháp phún xạ, phương pháp sol-gel, phương pháp bay hơi điện tử, phương pháp lắng đọng hơi hóa học, phương pháp lắng đọng phun nhiệt, phương pháp lắng đọng điện hóa, v.v. , vì vậy nó vẫn đang được nghiên cứu. Phương pháp phún xạ và phương pháp bay hơi ổn định hơn, thuận tiện, nhanh chóng, màng mỏng thu được là đồng đều. Phương pháp Sol-gel ít phức tạp hơn, nó có chi phí thấp, có thể được tổng hợp dưới nhiệt độ thấp, tính đồng nhất hóa học cao (vật liệu pha tạp được lan truyền ngay cả trong màng mỏng), hình dạng của vật liệu màng mỏng rất đa dạng. Vì vậy, phương pháp bay hơi, phương pháp phún xạ và phương pháp sol-gel được sử dụng rộng rãi.