Màng mỏng vonfram pha tạp Ta-pha tạp

WO3 có các đặc tính điện hóa tuyệt vời, như hiệu suất tạo màu cao, độ đảo ngược, thời gian bộ nhớ dài. Nó đóng một vai trò quan trọng trong nghiên cứu các vật liệu và thiết bị điện hóa. Tuy nhiên, WO3 hòa tan trong chất điện phân loại proton, làm hạn chế ứng dụng của nó trong chất điện phân loại proton của thiết bị điện hóa. Nghiên cứu cho thấy vật liệu điện hóa oxit nano-composite có thể cải thiện tính ổn định của thiết bị, rút ​​ngắn thời gian đáp ứng, kéo dài thời gian sử dụng. Ta2O5 có độ dẫn ion và proton tuyệt vời, nó cũng có độ trong suốt tuyệt vời trong phạm vi bước sóng rộng, ổn định nhiệt tốt, ổn định cơ học và hóa học thường được sử dụng trong các thiết bị điện hóa trạng thái rắn. Do đó, pha Ta2O5 và WO3 phức tạp với nhau sẽ kết hợp các lợi thế của hai vật liệu và sau đó đạt được khả năng tương thích cơ học và hóa học cao hơn, từ đó cải thiện tính ổn định và tuổi thọ của thiết bị.

Shim báo cáo rằng màng mỏng hỗn hợp nano oxit W-Ta ổn định hơn về tính chất dẫn hóa học và proton so với màng mỏng WO3 tinh khiết. Màng mỏng pha tạp Ta có thể cải thiện tính chất điện hóa, độ ổn định chu kỳ và khả năng ăn mòn axit của màng mỏng oxit vonfram, nhưng lượng pha tạp phải được kiểm soát trong một phạm vi nhất định. Khi lượng pha tạp là 5% -10%, màng mỏng hỗn hợp W1 － xTaxO3 sẽ có hiệu quả tạo màu tốt hơn. Khi lượng pha tạp là 15%, tính chất điện hóa của W1 － xTaxO3 tương đương với màng mỏng WO3 tinh khiết. Tiếp tục thêm lượng doping của Ta sẽ dẫn đến vượt quá và gây ra tác động tiêu cực đến màng mỏng.