Cảm biến khí

Có nhiều loại cảm biến khí, do dạng cấu trúc làm việc khác nhau giữa khí và vật liệu, phản ứng vật lý, hóa học và sinh học cũng khác nhau, vì vậy các phương pháp phân loại là khác nhau, theo các loại khí: thành phần cảm biến oxy, thành phần cảm biến amoni và thành phần cảm biến cồn; bằng vật liệu cơ bản: oxit kim loại, chất bán dẫn polymer hữu cơ, chất điện phân rắn; bằng phương pháp làm việc: loại khô và loại ướt; theo cấu trúc: thiêu kết, màng mỏng và màng dày; theo cơ chế làm việc: loại điện trở, loại điện dung và loại điện hóa.

WO3 là một loại vật liệu bán dẫn oxit kim loại cấu trúc N, khi tiếp xúc với khí thử nghiệm, điện trở thay đổi dẫn đến thay đổi tín hiệu đầu ra để kiểm tra khí. WO3 có ý nghĩa tốt đối với H2S 、 Sox và NOx, vì vậy nó có tiềm năng lớn. Công nghệ lắng đọng cho màng mỏng WO3 và thông số lắng đọng liên quan có ảnh hưởng lớn đến độ nhạy đối với cảm biến khí màng mỏng. Do phương pháp và điều kiện sản xuất khác nhau, mật độ khiếm khuyết trong vật liệu màng mỏng sẽ khác nhau. Ngoài ra, khi xử lý nhiệt vật liệu, kích thước hạt cũng thay đổi, nó có ảnh hưởng lớn đến tính chất điện và thời gian phản ứng khí đối với WO3.