Li-pha tạp Oxide màng mỏng

Sau khi pha tạp, nhiệt độ tinh thể không thay đổi, nhiệt độ lắng đọng nhiệt tối ưu vẫn là 220 độ C.

Sử dụng kính hiển vi điện tử quét để phóng to điều kiện bề mặt của mẫu màng mỏng trong 5,5 nghìn lần, người ta thấy rằng độ dày mặt cắt ngang của mỗi mẫu là phù hợp, từ biểu đồ bên dưới, chúng ta có thể thấy rằng sau khi pha tạp với lithium perchlorate, trung bình độ dày của màng mỏng khoảng 2700nm. So với màng mỏng oxit vonfram ban đầu, khuyết điểm trên bề mặt màng mỏng giảm, lỗ chân lông gần như biến mất, mật độ của nó được cải thiện phần lớn. Lấy biểu đồ dưới đây làm ví dụ, có thể hiển thị rõ ràng bề mặt của màng mỏng oxit vonfram sau khi pha tạp với lithium perchlorate. Không có mẫu 9 nào có mật độ rõ ràng tốt, nhưng có quá nhiều hạt màu trắng, nó có thể được gây ra bởi sự kết tủa của lithium perchlorate trong quá trình pha tạp. Không có mẫu 10 nào không có các hạt màu trắng, nhưng có một số lỗ nhỏ và vết nứt trên phim. Nó có nghĩa là tỷ lệ không đồng đều. Bề mặt của mẫu 15 có bề mặt nhẵn và không có dư lượng rõ ràng, tính chất bề mặt rất tuyệt.