Vonfram pha tạp màng mỏng

Tính chất của vật liệu màng mỏng được cấu tạo bởi một chất thường không thể đáp ứng yêu cầu thực tế, vì vậy màng mỏng oxit vonfram pha tạp với các yếu tố khác nhau sẽ cải thiện một số đặc tính của nó bao gồm cơ học, điện, quang học, hóa học và cấu trúc hoặc hình thái, sẽ cũng khác nhau bởi lượng pha tạp và vật liệu pha tạp khác nhau. Về bản chất, pha tạp sẽ gây ra những thay đổi về mức năng lượng và dải năng lượng của tạp chất, cũng là nồng độ chất mang của tinh thể, dẫn đến sự thay đổi cấu trúc tinh thể.

Màng mỏng oxit vonfram với thành phần pha tạp sẽ cải thiện một số tính chất của nó rất nhiều. Ví dụ, sau khi pha tạp một lượng Pt và Pd nhất định, độ nhạy hydro của màng mỏng sẽ cải thiện và giảm thời gian phản ứng. Màng mỏng oxit vonfram pha tạp Li sẽ cải thiện tính chất điện hóa của nó đặc biệt là tốc độ tạo màu và phai màu. Màng mỏng oxit vonfram pha tạp Ag sẽ tăng độ nhạy cho SO2. Màng mỏng oxit vonfram pha tạp TiO2 sẽ làm giảm lỗ hổng của nó. Màng mỏng oxit vonfram pha tạp Ni và Co sẽ hạ thấp điện áp phân cực của nó, điều này sẽ làm tăng tính ổn định.