Phương pháp sửa đổi màng mỏng oxit vonfram

Gia nhiệt nền

Nhiệt độ của chất nền là điểm mấu chốt để các ion hấp thụ trên bề mặt chất nền để kích hoạt, di chuyển và hạt nhân, nó cũng quyết định pha của màng mỏng. Màng mỏng lắng dưới nhiệt độ phòng không thể dính chặt vào chất nền. Nếu nhiệt độ lắng quá cao, tinh thể của màng mỏng sẽ phát triển quá lớn và thời gian phản ứng và thời gian phục hồi thấp hơn. Các lỗ xốp kém của màng mỏng WO3 và không kết tinh là tốt cho điện hóa và quang điện. Hiện tại, để có được một màng mỏng vô định hình, hãy giảm công suất phún xạ, tốc độ lắng đọng, và tăng áp suất và giảm mục tiêu phún xạ và các phương tiện khác để cố gắng làm giảm hiệu ứng nóng lên của chất nền, để có được một dạng vô định hình hoặc cấu trúc màng nano trạng thái vi tinh thể. Ở nhiệt độ thấp, điều kiện áp suất cao, năng lượng của hạt sự cố thấp, khả năng khuếch tán bề mặt nguyên tử bị hạn chế, cấu trúc của màng mỏng hình thành bị lỏng lẻo.

Màng mỏng oxit vonfram pha tạp

Bằng cách pha tạp các yếu tố khác nhau, nó có thể cải thiện độ nhạy và độ chọn lọc đối với khí của màng mỏng, do đó cải thiện khả năng đổi màu của nó. Cách pha tạp màng mỏng oxit vonfram là pha tạp một số ion nhất định vào dung dịch oxit vonfram, sử dụng màng mỏng oxit vonfram làm chất nền để phun ra kim loại đất hiếm. Phản ứng pha tạp vừa phải cung cấp nhiều electron hoặc lỗ trống hơn, để cải thiện độ dẫn điện, có tác động lớn đến các tính chất khác nhau của màng mỏng oxit vonfram.

Điều trị ủ tóc

Nhiệt độ và không khí ủ trong quá trình ủ ảnh hưởng đáng kể đến tính chất của màng oxit vonfram. Khi nhiệt độ ủ và thời gian ủ đạt đến một mức nhất định, màng mỏng oxit vonfram vô định hình có thể được chuyển thành trạng thái tinh thể. Ủ trong một bầu không khí oxy có thể làm giảm khoảng trống oxy trong màng mỏng kết tinh. Nghiên cứu về vật liệu độ nhạy khí WO3 pha tạp đầu tiên được thực hiện bởi Máy cạo râu, nó sử dụng phương pháp bay hơi chân không để thu được màng vonfram, sau đó nung nóng dưới 600 ~ 700oC để thu được màng mỏng WO3, phun ra với Pt nhỏ để tăng độ nhạy của WO3 với H2, NH3 và H2S. K.Galatsis đã sử dụng W (OC2H5) 6 và Mo (OC3H7) 5 làm tiền chất, SiO2 làm cơ chất, sản xuất WO3-MoO3 bằng phương pháp sol-gel và nghiên cứu cảm biến khí của nó cho O2.