Wolframoxid-Dünnfilmforschung und -entwicklung

Wolframoxid-Dünnfilm ist ein wichtiges funktionelles Dünnfilmmaterial, das weitreichende Anwendungsmöglichkeiten im kommerziellen, täglichen Leben und in der Landesverteidigung bietet.

Es gab viele Wissenschaftler, die ein paar Forschungen zur Erforschung von Wolframoxiddünnfilmen durchführen. Das Herstellungsverfahren umfasst: Verdampfungsverfahren, Sputterverfahren, Sol-Gel-Verfahren, Elektronenverdampfungsverfahren, chemisches Aufdampfungsverfahren, anodisches Oxidationsverfahren Sprühpyrolyseverfahren, Molekularstrahlepitaxieverfahren, Elektronenabscheidungsverfahren, Ionenabscheidungsverfahren usw. Die meisten Verfahren sind kompliziert und schwer zu verarbeiten. Das Zerstäubungsverfahren und das Verdampfungsverfahren sind jedoch stabil, der bequeme, schnelle und dünne Film ist gleichmäßig. Das Sol-Gel-Verfahren ist leicht herzustellen, die Herstellungskosten sind niedrig, es wurde bei niedrigen Temperaturen synthetisiert, es hat eine hohe chemische Gleichförmigkeit (gleichmäßig verteiltes dotiertes Material in einem dünnen Film), die Form des Materials ist verschieden. Daher werden hauptsächlich Verdampfungsverfahren, Magnetron-Sputterverfahren und Sol-Gel-Verfahren angewendet.

Die Studie zu Wolframoxiddünnfilmen konzentriert sich hauptsächlich auf ihre elektrochromen Eigenschaften. Es wird nur selten nach gaschromen und photochromen Eigenschaften geforscht. Obwohl früher ein Wolframoxiddünnfilm als Gassensor verwendet wird, verwendet er die Widerstandsänderung der Prüfgaskonzentration, die zum Halbleitersensor gehört. Er benötigt die zusätzliche Spannung zum Erwärmen und kann durch elektromagnetische Wellen gestört werden, die Struktur ist kompliziert, so dass die Anwendung eines solchen Gassensors ziemlich begrenzt ist.

Wenn Wolframoxid-Dünnfilmmaterial mit Wasserstoff in Kontakt kommt, verfärbt es sich unter Raumtemperatur und es ist offensichtlich, dass sich die optischen Eigenschaften des Dünnfilms ändern. Wasserstoff ist eine Art brennbares und brennbares Gas. Gewöhnlich können wir durch Testen des optischen Parameters eines Wolframoxiddünnfilms die Wasserstoffkonzentration erhalten, die magnetische und andere Störungen durch Erwärmen und Aufblasen vermeiden würde, wodurch die Sicherheit des Wasserstoffgassensors verbessert wird.