Gassensor

Es gibt viele Arten von Gassensoren. Aufgrund der unterschiedlichen Arbeitsstruktur zwischen Gas und Material unterscheiden sich auch die physikalischen, chemischen und biologischen Reaktionen. Daher sind die Klassifizierungsmethoden nach Gassorten unterschiedlich: Sauerstoffsensorkomponente. Ammonium-Messkomponente und Alkohol-Messkomponente; nach Basismaterial: Metalloxid, organischer Polymerhalbleiter, Festelektrolyt; nach Arbeitsmethode: Trockentyp und Nasstyp; nach Struktur: gesintert, Dünnschicht und Dickschicht; durch Arbeitsmechanismus: Widerstandstyp, kapazitiver Typ und Elektrochemietyp.

WO3 ist eine Art N-Struktur-Metalloxidhalbleitermaterial. Wenn es mit dem Testgas in Kontakt kommt, ändert sich der Widerstand, was zu einer Änderung des Ausgangssignals führt, um Gase zu testen. WO3 hat einen guten Sinn für H2S 、 Sox und NOx und hat daher ein großes Potenzial. Die Abscheidungstechnologie für einen WO3-Dünnfilm und die zugehörigen Abscheidungsparameter haben einen großen Einfluss auf die Empfindlichkeit des Dünnfilmgassensors. Aufgrund der unterschiedlichen Herstellungsverfahren und -bedingungen wäre die Defektdichte im Dünnfilmmaterial unterschiedlich. Bei der Wärmebehandlung des Materials ändert sich auch die Korngröße. Dies hat großen Einfluss auf die elektrischen Eigenschaften und die Reaktionszeit von Gas für WO3.