Gassensor aus porösem Silizium WO3

Makroporöses Silizium kann durch ein Substratmaterial hergestellt werden, das eine P-Struktur aufweist, die mit einer einzigen polierten Oberfläche dotiert ist, Kristallorientierung <111>, der spezifische Widerstand 8-13 & OHgr; cm ist und mit 40% HF und absolutem Ethylalkohol im Verhältnis 1: 1 konfiguriert ist 30 Minuten elektrochemische Korrosion in der Doppelnut. Wenn die Korrosionselektrizitätsdichte 20 bis 30 und 40 mA / cm 2 beträgt, beträgt die Porosität von makroporösem Silizium 50,0% bis 63,9,7% und 66,7%, was mit der Stromdichte ansteigt. Die Oberfläche von makroporösem Silizium erscheint offensichtlich als makroporöse Struktur. Die Ausbreitung von Makroporen ist gleichmäßig, die Abmessung beträgt 1 bis 2 um, die Porenwand ist dick. WO3, das auf die Oberfläche von makroporösem Silizium unter einer Korrosionselektrizitätsdichte von 40mA / cm² gesputtert wurde, bedeckt die Pore nicht, sondern ist in die Seitenwand der Pore gefüllt und wird zu einem kontinuierlichen dünnen Film.

Die Dicke von makroporösem Silizium vergrößert sich mit zunehmender Korrosionsstromdichte. Poröses Silizium hat bei Raumtemperatur eine gewisse Empfindlichkeit gegenüber NH3 und NO2. Der makroporöse Silizium-Wolframoxid-Dünnfilm hat eine ähnliche Empfindlichkeit gegenüber NO2 der Volumenfraktion 200 × 10-9 und NH3 der Volumenfraktion 20 × 10-6 entweder unter hoher Temperatur oder niedriger Temperatur.