Li-dotierter Wolframoxid-Dünnfilm

Nach dem Dotieren mit Lithiumperchlorat beträgt die Dicke des Wolframoxiddünnfilms 270 nm, seine Eigenschaften werden verbessert, der Film wird glatt und dicht, die Oberflächenladungsdichte steigt, der Lichtabsorptionsunterschied vor und nach dem Verfärben kann 52,9% erreichen. Nach dem Dotieren ändert sich die kristalline Temperatur nicht, die optimale thermische Abscheidungstemperatur beträgt immer noch 220 Grad Celsius.

Unter Verwendung des Rasterelektronenmikroskops zum Zoomen des Oberflächenzustandes der Dünnfilmprobe für das 5,5-fache wird festgestellt, dass die Querschnittsdicke jeder Probe konsistent ist. Aus dem untenstehenden Diagramm können wir entnehmen, dass der Durchschnitt nach dem Dotieren mit Lithiumperchlorat liegt Die Dicke des dünnen Films beträgt etwa 2700nm. Verglichen mit dem ursprünglichen Wolframoxiddünnfilm nimmt der Defekt auf der Oberfläche des Dünnfilms ab, die Poren verschwinden fast, und ihre Dichte ist stark verbessert. Nehmen Sie das untenstehende Diagramm als Beispiel, das die Oberfläche des Wolframoxiddünnfilms nach dem Dotieren mit Lithiumperchlorat deutlich zeigen kann. Die Probe Nr. 9 hat anscheinend eine gute Dichte, es sind jedoch zu viele weiße Partikel vorhanden, die durch die Ausfällung von Lithiumperchlorat während des Dotierungsprozesses verursacht werden können. No 10 Probe hat keine weißen Partikel, aber der Film weist einige kleine Poren und Risse auf. Das Verhältnis ist ungleichmäßig. Die Oberfläche der Probe 15 hat eine glatte Oberfläche und es gibt keine offensichtlichen Rückstände. Die Oberflächeneigenschaften sind groß.