Тонкая пленка оксида вольфрама

Тонкопленочный материал имеет оптические свойства, электрические свойства, магнитные свойства, химические свойства, механические свойства, термические свойства, он широко применяется во многих областях, таких как использование в качестве электрических тонких пленок, оптических тонких пленок, твердых пленок, коррозионной стойкости. пленка, смазочная пленка, декоративная пленка и упаковочная пленка. Среди которых тонкая пленка оксида вольфрама обладает многими свойствами, такими как электрохромизм, фотохромизм, газохромизм. Тонкая пленка из оксида вольфрама применяется в качестве интеллектуального окна, датчика газа и рН-метра. Тонкопленочный материал на основе оксида вольфрама изучался с 1960-х годов, особенно в области электрохромизма, фотохромизма, газохромизма, и добился больших успехов.

В настоящее время все больше и больше ученых уделяют внимание чувствительности газов к тонкой пленке оксида вольфрама. Имеет большой потенциал применения в отношении чувствительности к водороду. Когда тонкая пленка легированного оксида вольфрама вступает в контакт с водородом, она превращается из бесцветного в синий. Ученые все еще проводят исследования этих изменений. Также тонкая пленка оксида вольфрама имеет потенциал использования в качестве материала датчика газа не только для водорода, но и для другого чувствительного газа, такого как NH4, NO2, H2S, O3, O2 после легирования Au, Pt, Pb, Ag, Mo3 и т. Д. на.

Способы получения тонкой пленки оксида вольфрама включают: метод испарения, метод распыления, золь-гель метод, метод электронного испарения, метод химического осаждения из паровой фазы, метод термического напыления, метод электрохимического осаждения и т. д. Большинство из этих методов требуют сложной техники , так что это все еще в стадии исследования. Способ напыления и способ испарения являются более стабильными, удобными, быстрыми, полученная тонкая пленка является ровной. Золь-гель метод менее сложен, он недорогой, его можно синтезировать при низкой температуре, высокая химическая однородность (легированный материал распределяется даже в тонкой пленке), форма тонкопленочного материала разнообразна. Поэтому метод испарения, метод распыления и золь-гель метод широко используются.