Тонкая пленка оксида вольфрама

Тонкая пленка из оксида вольфрама является важным функциональным тонкопленочным материалом, он имеет широкие перспективы применения в коммерческой, повседневной жизни и национальной обороне.

Многие ученые провели несколько исследований по изучению тонкой пленки оксида вольфрама, метод ее получения включает: метод испарения, метод распыления, золь-гель метод, метод электронного испарения, метод химического испарения, метод анодного окисления, метод распылительного пиролиза, метод молекулярно-лучевой эпитаксии, метод электронного осаждения, метод ионного осаждения и т. д. Большинство методов сложны и трудны для обработки. Но метод распыления и метод испарения являются стабильными, удобными, быстрыми, а тонкая пленка однородной. Золь-гель метод прост в изготовлении, стоимость производства низкая, синтезируется при низкой температуре, имеет высокую химическую однородность (легированный материал равномерно распределяется в тонкой пленке), форма материала различна. Таким образом, метод испарения, метод магнетронного распыления и золь-гель метод являются наиболее распространенными.

Изучение тонкой пленки из оксида вольфрама в основном сфокусировано на ее электрохромном свойстве, редко - на газохромное и фотохромное. Хотя в прошлом в качестве датчика газа использовалась тонкая пленка из оксида вольфрама, она использует изменение сопротивления измеряемой концентрации газа, которая относится к полупроводниковому датчику. Для нагревания требуется дополнительное напряжение, и оно может быть нарушено электромагнитной волной, структура сложна, поэтому применение такого газового датчика весьма ограничено.

Когда тонкопленочный материал из оксида вольфрама вступает в контакт с водородом, он будет обесцвечиваться при комнатной температуре, очевидно, что оптические свойства тонкой пленки изменяются. Водород - это горючий и горючий газ. Обычно, тестируя оптический параметр тонкой пленки оксида вольфрама, мы можем получить концентрацию водорода, которая позволит избежать магнитных и других условий, вызывающих нагрев и надувание, что повысит безопасность датчика газообразного водорода.