Макропористый кремниевый датчик газа WO3

Макропористый кремний может быть изготовлен из материала подложки, структура P которого легирована одной полированной поверхностью, ориентация кристалла <111>, удельное сопротивление составляет 8-13 Ом · см, настроен на 40% HF и абсолютный этиловый спирт в пропорции 1: 1 после 30 минут электрохимическая коррозия в двойной канавке. Когда плотность коррозионного электричества составляет 20-30 и 40 мА / см2, пористость макропористого кремния составляет 50,0%, 63,9,7% и 66,7%, что увеличивается с увеличением плотности электричества. Поверхность макропористого кремния имеет видную макропористую структуру. Распространение макропористых однородно, размер 1 ～ 2 мкм, стенка пор толстая. WO3, распыленный на поверхности макропористого кремния при коррозионной электрической плотности 40 мА / см2, не покрывает поры, вместо этого он заполняется в боковой стенке пор и становится сплошной тонкой пленкой.

Толщина макропористого кремния увеличивается с ростом плотности коррозионного электричества. Пористый кремний обладает определенной чувствительностью к NH3 и NO2 при комнатной температуре. Тонкая пленка макропористого оксида вольфрама имеет одинаковую чувствительность к NO2 с объемной долей 200 × 10-9 и NH3 с объемной долей 20 × 10-6 при высокой или низкой температуре.