Золь-гель метод тонкой пленки оксида вольфрама

Золь-гель метод заключается в обработке органических / неорганических металлов в растворе, золь-геле и последующей термообработке и отверждении с образованием оксида или твердого соединения. Приготовление золь-гель тонкопленочного материала отличается простотой процесса, низкой стоимостью, низкой синтетичностью, высокой химической однородностью (включая легирующие вещества, лучше равномерно распределенные в пленке), разнообразием формы характеристик материала.

Стадия использования золь-гель метода для получения тонкой пленки оксида вольфрама: приготовление соли-предшественника, формирование золя и пленки, сушка, термообработка. Золь-гель метод получения тонкой пленки из оксида вольфрама можно разделить на метод перекисной вольфрамовой кислоты, метод ионного обмена вольфрамата, солевой раствор вольфрамового спирта и алкоголиз хлорида вольфрама.

Метод пероксополитунговой кислоты

Пероксидный золь-гель метод является одним из методов получения тонкой пленки оксида вольфрама. Порошок металлического вольфрама реагировал с перекисью водорода, получаемый продукт представлял собой перокси вольфрамовую кислоту до тех пор, пока порошок вольфрама полностью не прореагировал. После фильтрации затем реагируют с этанолом с низкой температурой кипения, образуя производное пероксиэфира W, после чего покрывают прядением или погружают в тонкую пленку.

Солевой раствор вольфрамового спирта

Алкоксиды вольфрама (например, W (OC2H5) 6) реагируют со спиртом небольших молекул (например, T спиртом), обычно используют азот в качестве защитного газа и встряхивают в течение примерно одного часа при ультразвуковом исследовании, получают золь WO3, затем методом погружения или нанесения покрытия методом центрифугирования, помещением образца в воздух перед отжигом для завершения реакций гидролиза и конденсации, а затем после обработки отжигом мы можем получить тонкую пленку оксида вольфрама. Особенностями способа являются высокая чистота пленки, но относительно сложные методы приготовления, и они требуют более сложных условий.

Вольфраматный ионообменный метод

Добавление обменной смолы в ионообменную колонку после кислотной обработки, затем добавление вольфрамата натрия в ионообменную колонку для прохождения процесса катионного обмена, через несколько минут получается прозрачный желтый раствор. Раствор нестабилен, и в течение нескольких часов он превращается в гель. После осаждения гидратированной вольфрамовой кислоты тонкая пленка оксида вольфрама формируется методом центрифугирования и методом погружения. Добавление подходящего количества органического растворителя, такого как спирт, ацетон и т. Д., Может стабилизировать золь. Также добавьте соответствующее количество перекиси водорода, задерживающего образование геля. Преимущество этого метода состоит в том, что все производственные процессы производятся при комнатной температуре, при этом разложение не производится. Этот метод может быть использован для получения толстой пленки без напряжения. Золь нестабилен, он может быстро образовывать гелевое покрытие, трудно контролировать время съемки, что приводит к низкой адгезии пленки.

Алкоголизация хлорида вольфрама

Под защитой N2 WCl6 полностью реагирует со спиртом, хлористый водород, образующийся в ходе реакции, отводится азотом, постепенно получается раствор алкоксида вольфрама, затем добавляется определенное количество спирта и сшивающего агента, смешивают их под азотная атмосфера. Затем формируют подходящий раствор для получения тонкой пленки из оксида вольфрама методом погружения или центрифугирования, наконец, после термической обработки получают тонкую пленку из оксида вольфрама.