Датчик газа

Существует много типов газовых датчиков: из-за различий в рабочей структуре газа и материала физические, химические и биологические реакции также различны, поэтому методы классификации различаются по типам газа: компонент, чувствительный к кислороду, чувствительный к аммонию компонент и чувствительный к алкоголю компонент; по материалу основы: оксид металла, полупроводник из органического полимера, твердый электролит; по методу работы: сухой тип и мокрый тип; по структуре: спеченные, тонкопленочные и толстопленочные; по рабочему механизму: тип резистора, емкостный тип и тип электрохимии.

WO3 представляет собой разновидность полупроводникового материала на основе оксида металла с N-структурой, когда он вступает в контакт с исследуемым газом, сопротивление изменяется, что приводит к изменению выходного сигнала для проверки газов. В WO3 хорошо понимают H2S 、 Sox и NOx, поэтому он имеет большой потенциал. Технология осаждения тонкой пленки WO3 и связанный с ней параметр осаждения оказывают большое влияние на чувствительность датчика тонкопленочных газов. Из-за различий в способе и условиях производства плотность дефектов в тонкопленочных материалах будет различной. Также при термообработке материала размер зерна также изменяется, что оказывает большое влияние на электрические свойства и время реакции газа для WO3.