摻雜薄膜
由於單一純淨物質組成的薄膜材料其性能往往不能滿足實際需要，所以要對其進行摻雜改性以增強它的某方面的功能。摻雜的作用是多方面的，薄膜的力學、電學、光學、化學以至結構和形貌等諸多性能都會隨摻雜材料的種類和摻雜含量的不同而改變。從本質上來講，摻雜引起了雜質能級、能帶的變化，改變了晶體的載流子濃度，使晶體結構發生了畸變。
三氧化鎢薄膜摻雜不同的元素後會明顯地改善其某些特性，例如摻雜含量在一定的範圍內的鈀或鉑後，薄膜對氫氣的靈敏度和選擇性等會有所提高而且大大縮短回應時間；摻鋰後三氧化鎢薄膜的電致變色性能將得到很大改善尤其是加快了著色和褪色速度；摻雜銀可以提高三氧化鎢薄膜對二氧化硫氣體的靈敏度；摻雜 TiO3後 WO3中的缺陷將有所降低；摻雜 Ni 和 Co 後的 WO3薄膜極化電壓將降低而薄膜的穩定性將會提高。
