氧化鎢薄膜電化學沉積法
電化學沉積法是一種液相方法,是把電解液加上電流進行電解,在工作電極表面便會生成所 需薄膜。電化學沉積法是一種歷史較長,工藝相對成熟的表面處理技術。金屬電化學沉積處理技術在19世紀早期就已出現。
電化學沉積法製備WO3薄膜基本過程是首先用H2O2以一定比例溶解W粉,然後祛除過量的H2O2,得電解質溶液並自然沉積,再以Pt作為工作電極,以另一種物質為對電極,通入電流電解沉積,Pt電極上即可得WO3薄膜。
採用“改進電沉積法”製備WO3薄膜,並研究該薄膜的後氧處理方法,以及後氧處理條件對薄膜的電化學特性,尤其是紅外反射率的影響。用此方法在Ti基體表面製備了WO3薄膜。利用電沉積法製備含多種金屬氧化物的WO3薄膜,並對其電致變色性能與純WO3薄膜進行了對比研究。電沉積法相對與其他方法,其設備較簡單,可控性強,鍍膜較均勻且可進 行複合薄膜製備。但受到鍍膜面積的影響,所制得的WO3薄膜面積較小。