掺杂薄膜
由于单一纯净物质组成的薄膜材料其性能往往不能满足实际需要，所以要对其进行掺杂改性以增强它的某方面的功能。掺杂的作用是多方面的，薄膜的力学、电学、光学、化学以至结构和形貌等诸多性能都会随掺杂材料的种类和掺杂含量的不同而改变。从本质上来讲，掺杂引起了杂质能级、能带的变化，改变了晶体的载流子浓度，使晶体结构发生了畸变。
三氧化钨薄膜掺杂不同的元素后会明显地改善其某些特性，例如掺杂含量在一定的范围内的钯或铂后，薄膜对氢气的灵敏度和选择性等会有所提高而且大大缩短响应时间；掺锂后三氧化钨薄膜的电致变色性能将得到很大改善尤其是加快了着色和褪色速度；掺杂银可以提高三氧化钨薄膜对二氧化硫气体的灵敏度；掺杂 TiO3后 WO3中的缺陷将有所降低；掺杂 Ni 和 Co 后的 WO3薄膜极化电压将降低而薄膜的稳定性将会提高。
