氧化钨薄膜电化学沉积法
电化学沉积法是一种液相方法,是把电解液加上电流进行电解,在工作电极表面便会生成所 需薄膜。电化学沉积法是一种历史较长,工艺相对成熟的表面处理技术。金属电化学沉积处理技术在19世纪早期就已出现。
电化学沉积法制备WO3薄膜基本过程是首先用H2O2以一定比例溶解W粉,然后祛除过量的H2O2,得电解质溶液并自然沉积,再以Pt作为工作电极,以另一种物质为对电极,通入电流电解沉积,Pt电极上即可得WO3薄膜。
采用“改进电沉积法”制备WO3薄膜,并研究该薄膜的后氧处理方法,以及后氧处理条件对薄膜的电化学特性,尤其是红外反射率的影响。用此方法在Ti基体表面制备了WO3薄膜。利用电沉积法制备含多种金属氧化物的WO3薄膜,并对其电致变色性能与纯WO3薄膜进行了对比研究。电沉积法相对与其他方法,其设备较简单,可控性强,镀膜较均匀且可进 行复合薄膜制备。但受到镀膜面积的影响,所制得的WO3薄膜面积较小。